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產(chǎn)品中心實(shí)驗(yàn)室氣體配比器質(zhì)量流量計(jì)KT-C4ZS質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器
產(chǎn)品簡介
質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器KT-C4ZS，采用質(zhì)量流量計(jì)，316金屬管道，觸摸屏控制，5段可編程序（時(shí)間-流量隨意設(shè)置定值）
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產(chǎn)品分類| 品牌 | 鄭科探 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 其他 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器KT-C4ZS按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。
配置1質(zhì)量流量
2單向閥單向出氣
3觸摸屏控制，5段可編程序（時(shí)間-流量隨意設(shè)置定值）
4采用316金屬管道耐腐蝕性強(qiáng)
用途1半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2各種真空鍍膜設(shè)備
3特種材料表面處理
5混合配氣系統(tǒng)
6環(huán)境監(jiān)測與分析設(shè)備
質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器KT-C4ZS資料 ;
產(chǎn)品型號(hào) | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣體通道 | 4進(jìn)1出 | 4進(jìn)1出 | |||
可根據(jù)需求定制 | |||||
產(chǎn)品類型 | 高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||||
產(chǎn)品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | |||
重復(fù)精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
響應(yīng)時(shí)間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
最大功耗 | 40W | ||||
進(jìn)氣口壓 | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) | ||||
時(shí)間設(shè)定 | 0-32000分鐘 | ||||
清洗功能 | 一鍵清洗 | ||||
程序控制 | 5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值) | ||||
壓力顯示 | 有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路） | ||||
氣體混合罐 | 有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） | ||||
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)） | ||||
流量累計(jì) | 有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量） | ||||
可選進(jìn)出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||||
抗電磁干擾 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG～20KG | ||||
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