持久型小型濺射儀

一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，

     磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng)，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率。

需要鍍膜的樣品

1、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品，塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過(guò)程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料，那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用，防止此類(lèi)損傷；

2、非導(dǎo)電的樣品:

由于樣品不導(dǎo)電，其表  面帶有“電子陷阱"，  這種表面上的電子積累  被稱(chēng)為“充電"。為了  消除荷電效應(yīng)，可在樣  品表面鍍一層金屬導(dǎo)電  層，鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電  通道，將充電電子從材  料表面轉(zhuǎn)移走，消除荷  電效應(yīng)。在掃描電鏡成  像時(shí)，濺射材料增加信  噪比，從而獲得更好的成像質(zhì)量。

持久型小型濺射儀廠(chǎng)家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；