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該液氮實(shí)驗(yàn)室真空探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到350℃ 低溫-130°。

四探針測試臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

真空高低溫光電器件測試探針臺(tái).測試腔：同時(shí)滿足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測試，304不銹鋼材質(zhì)，可在紫外燈下保證氣密性測試； 測試樣品數(shù)：同時(shí)測試8個(gè)樣品，可進(jìn)行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應(yīng)管測試；

6探針氣體環(huán)境密封真空探針臺(tái) 探針臺(tái) 高溫探針測試臺(tái) 變溫探針臺(tái)真空高低溫光電器件測試探針臺(tái)

流量計(jì)數(shù)量：5個(gè)，（根據(jù)客戶需求標(biāo)定 氣體 量程 進(jìn)氣口和出氣口） 氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺(tái)測試腔 流量規(guī)格：500 ml/min 精準(zhǔn)度：±1.0% S.P.（≥30% F.S.）±0.30% F.S.（＜30% F.S.） 重復(fù)精度：±0.2% F.S 響應(yīng)時(shí)間：≤1 s 密封形式：金屬密封 接頭尺寸：6 mm 漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s 通訊接口：RS485